我們可為客戶提供定制化的平面靶、旋轉靶、圓盤靶等各種類型的磁控濺射組件,適用于不同的PVD濺射靶材料和形狀。我們具有先進的精密加工能力,可加工各種材料的配套零件,并進行整體裝配與清洗。我們還可對組件進行水壓、絕緣、氣密等測試,確保產品的質量和性能符合客戶要求。
我們的產品還具有以下特點和優勢:
- 高效率:磁鋼采用先進的磁材控制技術,提升工作磁場的一致性,實現高效的濺射過程,提高涂層制備效率與靶材利用率。
- 高質量:我們的產品采用優質的材料和先進的制造工藝,可以確保產品的質量和性能。
- 可靠性:我們的產品具有穩定性和可靠性,可長期穩定運行,保證涂層質量和制備效率。
- 靈活性:我們可以為客戶提供定制化的產品,可根據客戶的需求進行設計和制造,以滿足不同的涂層制備需求。
- 專業團隊:我們擁有專業的技術團隊,具有豐富的經驗和技術能力,可為客戶提供全方位的技術支持和服務。
我們的磁控濺射組件可應用于光電子、半導體、表面處理等領域,滿足客戶在高端涂層制備和研究領域的需求,是客戶信賴的合作伙伴。
磁控濺射組件的零部件主要分為磁鋼、機加工件、密封件、緊固件等。
磁鋼是磁控濺射組件的關鍵零部件,磁鋼的磁路排布與磁場一致性直接影響最終的濺射效果。由于工作過程電子輝光放電發熱,磁鋼還需要具備一定的耐溫性能。
磁控濺射組件的機加工件一般為底座、極靴、罩殼、連接件等部分,材質為低碳鋼、不銹鋼、銅、鋁、尼龍等,水冷環境條件下,鐵質部件還需做電鍍防護處理。根據使用工況要求,還需進行半導體級別的工業清洗處理。
密封件起著密閉組件腔體,防止漏氣漏水的重要作用。我們通常選用進口優質工業用密封圈,可長期穩定使用。
緊固件為各類型螺絲螺母、定位銷、墊片、擋圈等,根據裝配需要會作表面硬化處理。
按照標準作業流程,將各個零部件組裝成為整體,之后根據使用工況要求,進行外觀、表面磁場、氦檢、水壓、絕緣等多種檢測。
我們可按照客戶對磁控濺射組件產品的要求,從咨詢,設計,打樣到批量生產,提供全流程定制化服務。